エキシマ光源装置

172nmの紫外光を照射する装置です。

メーカー	浜松ホトニクス(株)
型式	EX－mini L12530
主な仕様	照射波長 172 nm 照射強度 50 mW／c㎡以上発光範囲： 86 x 40 mm
導入年度	2015年度
設置場所	化学繊維研究所
問い合わせ先	化学繊維研究所繊維技術課機能材料チーム電話番号：092-925-5933 FAX：092-925-7724
料金	100円／時間
その他	詳細は設備を保有する研究所までお尋ね下さい。