微細形状測定装置

レーザー光を被測定物表面に照射し、反射したレーザー光から被測定物の形状や面粗度を測定する装置です。

メーカー	三鷹光器（株）
型式	NH-3SP
主な仕様	3次元測定計測方式：レーザプローブ測定精度(XY平面)： ±(0.2 + 0.5 L/150) μm 測定精度(Z軸方向)： ±(0.1 + 0.2 L/10) μm
導入年度	2004年度
設置場所	機械電子研究所
問い合わせ先	機械電子研究所生産技術課電話番号：093-691-0260（代表） FAX：093-691-0252
料金	2,810円／時間
その他	使用にあたっては、事前に担当職員と調整してください。