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グロー放電発光分光分析装置
めっきや薄膜試料の深さ方向の元素分布を測定する装置で、膜厚の測定も可能です。
アルゴンイオンにより試料表面をスパッタし、表面原子をグロー放電プラズマに導入してその発光線を解析することにより材料成分の同定と組成分析を行います。
| メーカー | （株）堀場製作所 |
|---|---|
| 型式 | JY-5000RF Type-F |
| 主な仕様 |
ポリクロメータ： 44元素同時分析 |
| 導入年度 | 2003年度 |
| 設置場所 | 機械電子研究所 |
| 問い合わせ先 |
機械電子研究所 材料技術課 |
| 料金 |
3,860円／時間 |
| その他 |
使用にあたっては、事前に担当職員と調整してください。 |