薄膜物性評価装置

薄膜の機械物性のうち、摩擦摩耗特性、密着力、薄膜形状を評価する装置です。（1）トライボロジー試験部（摩擦摩耗試験機、スクラッチ試験機）、（2）マクロ観察部（レーザー顕微鏡）から構成されます。

メーカー	（1）トライボロジー試験部：（株）アントンパール・ジャパン、（2）マクロ観察部：（株）エビデント
型式	（1）トライボロジー試験部：摩擦摩耗試験機（TRB3）、スクラッチ試験機（RST3）、（2）マクロ観察部（OLS5100-EAT）
主な仕様	（1）トライボロジー試験部・摩擦摩耗試験機（TRB3）　ボールオンディスク、ピンオンディスク、ボールオンプレートが可能。　荷重：0.2～20N（重り式）　摩擦力測定上限：20N 　回転数：0.2～2000rpm 　ボールサイズ：φ6mm、ピンサイズ：5mm×30mm ・スクラッチ試験機（RST3）　荷重：1～200N 　荷重速度：最大300N/分　スクラッチ速度：0.4～600mm/分（2）マクロ観察部（OLS5100-EAT）　使用波長：405nm 　総合倍率：118～2349倍(ディスプレイ上）　水平分解能：120μm 　高さ分解能：5nm
導入年度	2022年度
設置場所	機械電子研究所
問い合わせ先	機械電子研究所材料技術課表面プロセスチーム電話番号：093-691-0260（代表） FAX：093-691-0252
料金	（1）トライボロジー試験部摩擦摩耗試験機：610円/時間スクラッチ試験機：830円/時間（2）マクロ観察部レーザー顕微鏡：1,440円／時間
その他	この設備は（公財）JKAの助成を受けて導入されました。詳細は研究所までお尋ね下さい。

令和5年4月より設備使用開始予定。
消耗品の持ち込みが必要になるため、設備利用の際は事前に担当職員にご相談ください。利用にあたって事前の予約と担当職員との調整が必要です。