表面形状測定システム

接触式測定部

JIS規格に準拠した接触式の測定と、走査型白色干渉法による非接触測定ができる2種類の測定部で構成された表面形状測定装置です。

メーカー	アメテック(テーラーホブソン事業部)
型式	接触式　Talysurf PGI 1240 /非接触式　Talysurf CCI Lite
主な仕様	接触式・Z軸分解能：0.8nm ・測定範囲：12.5mm(高さ)、200mm(長さ) ・Y軸テーブル搭載(可動範囲：100mm、重量制限：10kg) 非接触式・Z軸分解能：0.01nm ・視野(10倍：1.65mm×1.65mm ～ 100倍：0.16mm×0.16mm) ・測定データポイント：1024×1024ピクセル・データ繋ぎ合わせ可能・測定範囲(X:125mm、Y：75mm、Z:100mm)
導入年度	2010年度
設置場所	機械電子研究所
問い合わせ先	機械電子研究所生産技術課電話番号：093-691-0260（代表） FAX：093-691-0252
料金	依頼試験のみの対応となります。詳細はお尋ね下さい。
その他	事前の予約と担当職員との調整が必要です。本機器は（財）JKAの補助を受けて導入しました

非接触式測定部