表面形状測定システム（上下測定対応）

接触式測定部

JIS規格に準拠した接触式の測定と、光干渉法による膜厚測定ができる2種類の測定部で構成された表面形状測定装置です。

メーカー	アメテック株式会社（テーラーホブソン事業部）　／　大塚電子株式会社
型式	PGI　NOVUS　S１５型　／　SM-100P
主な仕様	接触式・Z軸分解能：0.2nm ・測定範囲：15mm(高さ、標準スタイラス検出範囲)、200mm(長さ) （デュアルスタイラス使用時は、高さ方向最大２００ｍｍの測定が可能）・Y軸及び回転テーブル搭載(可動範囲：100mm、360°、重量制限：10kg) 非接触式・Z軸分解能：0.1μm ・最大３層の測定が可能
導入年度	2024年度
設置場所	機械電子研究所
問い合わせ先	機械電子研究所生産技術課電話番号：093-691-0260（代表） FAX：093-691-0252
料金	依頼試験のみの対応となります。詳細はお尋ね下さい。
その他	事前の予約と担当職員との調整が必要です。本機器は（財）JKAの補助を受けて導入しました。