材料表面高感度観察・解析顕微鏡

（1）三次元粗さ解析走査電子顕微鏡　：　ERA-600

本設備は材料表面に加速した電子を当てることにより、二次電子像による表面の凹凸形状の観察および観察視野の元素分析が可能です。また、表面熱処理やめっき膜等における微小領域の硬さ測定も可能です。

メーカー	(株)エリオニクス
型式	（1）三次元粗さ解析走査電子顕微鏡:ERA-600 ／（2）超微小押し込み硬さ試験機:ENT-NEXUS
主な仕様	(1) 三次元粗さ解析走査電子顕微鏡　・電子銃：タングステンフィラメント　・加速電圧： 0.3～35 kV 　・分解能： 3.5 nm（35 kV）　・倍率： 10～300,000倍　・画像観察：二次電子像、反射電子像　・試料サイズ： Φ120 × ｔ25 mm 　・表面形状測定：鳥瞰図、等高線図等　・元素分析（EDS）： Be～Am (2) 超微小押し込み硬さ試験機　・ISO 14577-1 / JIS Z 2255に準拠した試験に対応　・荷重： 5 μN～2,000 mN
導入年度	2020年度
設置場所	機械電子研究所
問い合わせ先	機械電子研究所材料技術課金属プロセスチーム電話番号：093-691-0260（代表） FAX：093-691-0252
料金	(1) 三次元粗さ解析走査電子顕微鏡 : 2990円/時間（予定） (2) 超微小押し込み硬さ試験機 : 1080円/時間（予定）
その他	この設備は（公財）JKAの助成を受けて導入されました。使用にあたっては、事前に担当職員と調整して下さい。

超微小押し込み硬さ試験機：ENT-NEXUS

（2）超微小押し込み硬さ試験機：ENT-NEXUS